半导体行业用折光仪
产品特点
N.I.S.T.标准下的可追溯校准及验证,采用标准折射率液体和验证程序进行验证
光学核心设计
通过以太网进行数据记录和远程界面操作
标准 UDP/IP 通信
过程温度范围:-20°C-85°C (-4°F-185°F)
内置 Pt1000 快速温度测量及自动温度补偿
PR-33-S包含一个超纯改性PTFE流通池主体和一根以太网线,不同标准的以太网供电 (PoE) 开关均可通过以太网线向传感器供电,并将数据传输给计算机。PR-33-S实时监测化学品浓度,当化学品浓度超出规定范围时,立即通过以太网反馈报警。例如,可通过配置低浓度和高浓度警报来控制和延长溶液使用寿命。这里的浓度通过对溶液折射率nD和温度测量来确定。PR-33-S 直接通过喇叭形或pillar配件进行安装。PR-33-S 结构紧凑,不含金属,体积小。
全数字化设备
维萨拉 K‑PATENTS®半导体行业用折光仪 PR-33-S用于过程监控,可提供连续的以太网输出信号,设计紧凑,可直接串接在过程管路上。
易于维护
光学核心设计。无漂移。无需重新校准。无需进行机械调节。
满量程下保持精确稳定测量
折光率测量范围 nD 1.3200–1.5300,相当于 0-100%(重量百分比)。对于高浓度 HF,可选范围为 nD 1.2600–1.4700。标称准确度为 R.I.+ 0.0002,通常相当于 0.1%(按重量百分比计),例如,盐酸浓度。测量不受颗粒、气泡、紊流及 PPM 浓度级别微量杂质影响。
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